2022.02.18 
實聯精化新產品已陸續成功量產

本公司已成功開發18nm級以下半導體專用特氣/矽前驅物，於去年(2021)成功量產新產品：一氯矽烷（MONOCHLOROSILANE，MCS）、二氯矽烷（DICHLOROSILANE，DCS），並已完成COA（Certificate of Analysis，成份分析報告）及SPC（Statistical Process Control，統計製程管制），可達到半導體客戶之規格，並提供客戶進行產品驗證。

同時，矽乙烷（DISILANE，DS）製程已完成設置，即將進行生產測試，預計將於四月份量產。今年起本公司將全力量產前述三項新產品，進入奈米級半導體技術製程與量產，提供半導體相關產業做為重要之矽基原料。  

實聯精化長期專注於電子特氣材料市場發展，為台灣唯一在地化垂直整合生產、製造、灌充及具備分析能力之製造商，對於客戶服務及產品達交具有快速反應的優勢，將會是台灣面板、半導體產業所需電子級特氣/矽前驅物的最佳供應夥伴。

如有產品需求或需了解更多資訊，歡迎洽詢：customer@shihlienenergy.com。