矽甲烷(Silane)

 
產品矽甲烷(Silane)
化學式SiH4
介紹矽甲烷廣泛運用於半導體、面板、太陽能產業,做為生成絶緣層、導體層及半導體層之重要原料。
純度≧ 99.9999%(6N)
鋼瓶A式鋼瓶:47L / 12KG   
   Y式鋼瓶:440L / 125KG  
 槽車: 2700KG - 5800KG
閥件CGA632