二氯矽烷(DCS)

 
產品二氯矽烷(DCS)
化學式SiH2Cl2
介紹使用於半導體外延片之成膜，其對金屬不純物要求已降至ppb等級以下，目前主要供應商以日本廠商為主，少部份來自歐美
純度≧ 99.95（3N5）
鋼瓶A式鋼瓶：40L / 37KG
閥件CGA636

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