矽乙烷(Disilane)

 
產品矽乙烷(Disilane)
化學式Si2H6
介紹為高單價的電子特氣,除半導體製程使用,手機主流面板使用軟性的LTPS基板,製程中最適合使用低溫反應的Disilane
純度> 99.999%(5N)
鋼瓶A式鋼瓶:47L / 10KG
閥件CGA632